一般說(shuō)來(lái),能夠生產(chǎn)純氣體、高純氣體、電子工業(yè)用氣體產(chǎn)品的企業(yè),都有一定的技術(shù)力量和儀器設(shè)備,管理也十分到位。標(biāo)準(zhǔn)的實(shí)施雖然一般沒(méi)有什么大的問(wèn)題,但微量雜質(zhì)的分析問(wèn)題可能是它們共同的難點(diǎn)所在。
電子工業(yè)用氣體是一種有特殊用途的氣體,在半導(dǎo)體、集成電路的生產(chǎn)中,或者用于氣相淀積、離子注入、等離子工藝,或者用于蝕刻、鈍化、外延、摻雜,或者作為載氣、加壓、清洗、保護(hù)、覆蓋、濺射、退火、擴(kuò)散等等。它們對(duì)使用有害的雜質(zhì)的要求相當(dāng)嚴(yán)格,集成度越高,要求越高。
公司帶您了解與純氣體、高純氣體不同,電子工業(yè)用氣體標(biāo)準(zhǔn)關(guān)心的是于使用有害的雜質(zhì),而于使用無(wú)害的雜質(zhì)通常不予規(guī)定,雜質(zhì)及其含量指標(biāo)由使用要求確定,對(duì)于諸如氧、水等具有氧化性或還原性的雜質(zhì)要求往往特別嚴(yán)格,氣體的純度由雜質(zhì)含量確定,低純度97%,純度要求已達(dá)到99.99999%。
純氣體、高純氣體重在氣體的純度,考慮了所有可能存在的雜質(zhì),雜質(zhì)含量隨純度確定。純氣體的純度通常在99.99%以上,高純氣體通常在99.999%以上。純度很高的高純氣體不一定能符合電子工業(yè)用氣的要求;反之,純度較低的氣體產(chǎn)品不一定不能用于電子工業(yè),關(guān)鍵是含有的雜質(zhì)水平是否滿(mǎn)足使用要求。
我國(guó)現(xiàn)行的電子工業(yè)用氣體標(biāo)準(zhǔn)幾乎都是采用SEMI(半導(dǎo)體設(shè)備與材料國(guó)際組織)標(biāo)準(zhǔn)而制定的,今后可能也一樣。SEMI是一個(gè)有1200多個(gè)企業(yè)參加的、組織半導(dǎo)體設(shè)備和材料方面的國(guó)際展覽、技術(shù)交流、制定標(biāo)準(zhǔn)和規(guī)范的一個(gè)國(guó)際組織。SEMI制定的標(biāo)準(zhǔn),保持了技術(shù)上的**性。密切結(jié)合微電子技術(shù)的發(fā)展,反映了當(dāng)前半導(dǎo)體工業(yè)的國(guó)際水平,有較強(qiáng)的科學(xué)試驗(yàn)依據(jù)和生產(chǎn)技術(shù)的支持,具有較高的科學(xué)性、**性、實(shí)用性,內(nèi)容較全面,標(biāo)準(zhǔn)配套。在一定意義上,已成為半導(dǎo)體工業(yè)的國(guó)際性語(yǔ)言。